某光电器件集成ic创造厂在晶圆代加工操作过程中，适用硅烷使用硅外加生长的，空气洗衣机清洗塔带来高密度含硅废渣。废渣具pH变化大（2-11）、硅水平高的作用，以往清理策略易发现硅垢堵住了大问题。 电镀废水营养成分及来源于 废气主要材料为： 溶化性硅酸盐 ：SiO₂含量达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢腐蚀钠 ：洗滌塔酸性洗滌液剩余的 粒子硅 ：纳米级级SiO₂氢氧化铁 痕量砷 ：原材料沉渣带进去 解决具体步骤具体步骤 多元化采取"有级与+膜吸附+汽化沉淀"工艺设计： 一个中合 ：用CaO缓解pH至4-5，转换成硅酸钙沉淀物中，硅彻底清除率60%。 特殊中合 ：加Na₂CO₃将pH升级至9，进第一步乳浊液剩于硅，电容串联用镁剂除砷。 反渗透装置体统 ：0.02μm卫浴陶瓷膜净化纳米技术级硅颗粒剂，通量安稳在80LMH。 MVR挥发器 ：提液高盐生活污水，晶体出Na₂SO₄副物料，水造纸废水处理率超90%。 结果目的 总硅从1500mg/L降为5mg/L下述 砷含氧量从0.8mg/L高于0.01mg/L 系统化无结渣启动可超过2年 今年收旧氢氧化钾钠单晶体约800吨