该厂为8厘米晶圆的生产工艺设计设施的超净水控制系统,每星期有含硅污废水 150吨。污废水 中虽无巨资属,但硅水平高易结渣,且电阻值率需达到了18MΩ·cm才中水回用。本来的加工处工院艺不了能够满足新发布的《智能电子工业生产水污染破坏物尾气排放口的标准》(GB39731-2020)特点尾气排放口最大限度。
废渣组成的特点
包括破坏物
:电解质溶液硅(200-300mg/L)、颗粒物硅(比表面积0.1-1μm)
特异想要
:TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L
生活饮用水形态
:低导电率(<50μS/cm)但硅单质价值形式较为复杂
操作制作生产工艺流程图
科学创新使用"梯级膜离心分离+电去阳离子"组合构成加工:
微滤预治疗
:1μm陶瓷图片膜屏蔽广告大科粒硅,通量维护80LMH
化合物传递树酯
:D201大孔树脂胶挑选性物理吸附硅酸团伙
特殊RO整体
:第一名段回收利用率60%,第一段选用高脱硼膜元器件
EDI电去亚铁离子
:工作电流密度单位2A/m²,持续保持的还原残渣阴阳离子
紫外光消菌
:254nm紫外线摄入量40mJ/cm²
高技术闪光点
开放专用的阻硅剂(有机质胺类结合物),廷缓膜被污染的周期时间3倍
EDI方案的创新流道规划,硅删去率提高自己至99.8%
迅雷在线硅探讨仪(预估范围图0.1-500μg/L)体现脱贫设定
自动运行初步成效
经第二方加测:
总硅从280mg/L降为0.05mg/L
硼分子量从8μg/L降到0.3μg/L
机系统回收公司率从原40%升高至68%
膜拆卸时间间隔延后至5年,年加载利润降35%